瑞士Safematic电镜制样设备:CCU-010 LV_CT-010热蒸发镀碳仪
紧凑型、模块化和智能化
CCU-010 LV_CT-010为一款结构紧凑、全自动型的热蒸发镀碳设备,使用非常简便。在镀膜之前和/或之后,可以进行等离子处理。模块化设计可轻松避免交叉污染。
特点和优点
✬高性能热蒸发镀碳和等离子处理
✬专有的碳盘管设计–一次真空下多达数十次的碳镀膜,无需用户干预
✬独特的即插即用蒸碳镀膜模块
✬一流的真空性能和快速抽真空
✬结构紧凑、可靠且易于维修
✬双位置膜厚监控装置,可兼容不同尺寸的样品
巧妙的真空设计
模块化的设计可将低真空单元后续很轻松地升级为高真空单元。特别选择和设计的材料、表面和形状可大大缩短抽真空时间。
CT-010碳蒸发模块
紧凑的插入式碳蒸发模块为镀碳树立了新标杆。将该头插入CCU-010 LV镀膜主体后,即可立即使用,适合SEM/EDS等需要高质量碳膜应用的场合。CT-010可在一次真空下进行多达数十次涂层的镀膜,而无需更换碳源。可对温度敏感的样品进行温和的蒸镀薄碳膜,也可在中厚碳膜层应用时进行高功率闪蒸镀碳。
GD-010辉光放电模块
可选的GD-010辉光放电系统可进行表面处理,例如,使碳膜亲水。
ET-010等离子刻蚀单元
在对样品进行镀膜之前或镀膜之后,可以对样品进行等离子刻蚀处理。
RC-010手套箱应用的远程控制软件
◎基于window的远程控制软件
◎创建和调用配方
可选多种样品台
CCU-010提供了一个直径不小于60mm的样品台,该样品台插入到高度可调且可倾斜的样品台支架上。可选其它样品台。
CCU-010 LV系列镀膜仪版本
除了CCU-010 LV热蒸发镀碳仪之外,还可选择:
CCU-010 LV磁控离子溅射镀膜仪;
CCU-010 LV离子溅射和镀碳一体化镀膜仪;
CCU-010 LV手套箱专用镀膜仪。
所有CCU-010 LV系列镀膜仪均采用TFT 触摸屏操控,配方可编程,保证结果可重复。
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